1、实施案例：
纳秒激光刻蚀用于钙钛矿太阳能电池（P1、P2、P3使用纳秒激光刻蚀）
2、技术指标：
大族纳秒激光划线系统；
划线应用对象：柔性塑料板、玻璃、金属、陶瓷以及晶圆等平面型器件或板材，支持图案自定义；
激光脉冲：纳秒尺度；
激光波长：532 nm；
划线平面幅度：最大可支持300mm*300mm 平面划线；
划线精度：划线最窄可达30μm；平台移动（x、y方向）精度可达1μm；
3、主要功能：
该激光划线系统带图像识别自动定位，以确保高精度、高重复性及高可靠性工作。主要用于平面型板材或器件，功率可调范围广泛，可实现激光打标、微区热烧结焊接、自定义图案刻蚀、多层功能薄膜选择性剥离等功能。
